Elektrotechnická fakulta Českého vysokého učení technického v Praze má novou laboratoř pro výzkum a výuku nanoelektrických technologií. Takzvaný NANOLAB je výsledkem investice za 40 milionů Kč a spojuje několik unikátních technologií v jeden celek. Primárně se bude soustředit na vývoj a výuku v oblasti čipů.
NANOLAB má významně přispět k tomu, aby byla naplněna poptávka českých firem po vysoce specializovaných odbornících, kteří budou navrhovat polovodiče, včetně mikročipů, jejichž nedostatek významně ovlivňuje světové trhy. Firmy v oblasti výroby polovodičů nepotřebují jen technology, ale i designery, jejichž znalosti a kompetence právě nová laboratoř na katedře mikroelektroniky rozvíjí.
Vývoj pro solární články i kosmické technologie
Spektrum oborů, k jejichž zkoumání NANOLAB přispěje, je mnohem širší než jen samotná oblast čipů. Podle výzkumníků se může uplatnit například při výzkumu nádorových buněk, zdokonalování solárních článků či ke kosmickému výzkumu.
„NANOLAB zvýší naše poznání o nových technologiích a výzvách, které má naše společnost před sebou. Připravujeme spolupráci na vývoji antireflexních vrstev pro solární články ve spolupráci s laboratoří, která působí v rámci naší fakulty. Pomůže nám to i v projektech s diamantovou elektronikou, která vyniká vysokou odolností. Další oblastí uplatnění jsou kosmické technologie, ve kterých se angažuje veřejný i soukromý sektor,“ nastiňuje prof. Pavel Hazdra, vedoucí katedry mikroelektroniky FEL ČVUT, potenciál navazujícího interdisciplinárního výzkumu a šíři aplikací, na jejichž vývoji se budou moci výzkumníci z jeho katedry díky NANOLABu podílet.
Unikátní přístroje umožní během studia tvořit vlastní struktury
NANOLAB je vybavený unikátními technologiemi z oblasti bezmaskové optické litografie, depozice atomárních vrstev (ALD) a hlubokého leptání reaktivní plazmou, které tvoří ucelený systém umístěný v prostorách s vysokou čístotou. „Některé z přístrojů dosud v ČR nebyly, například nejnovější model optického litografu ML3 s přímým zápisem. Technologie ALD v naší laboratoři má výhodu velmi šetrného vkládání vzorků pomocí přechodové komory (load-lock) umístěné v dusíkové atmosféře a také v monitorování růstu pomocí optické elipsometrie umožňující růst zastavit při dosažení určitého počtu atomárních monovrstev,“ říká prof. Pavel Hazdra. Právě na růstu dielektrických vrstev technologie ALD se studenti budou seznamovat s přístroji, aby potom později ve studiu mohli vytvářet vlastní struktury.
NANOLAB vznikl v návaznosti na Laboratoř nanoelektroniky, vybavené mikroskopem AFM, materiálovou tiskárnou a charakterizačními metodami v letech 2012 až 2015. Laboratoř byla v následujících letech vybavená nákladnými technologickými zařízeními. Výzkum v oblasti mikroelektroniky na FEL ČVUT navazuje na dlouhodobější tradici, která sahá až k přelomu šedesátých a sedmdesátých let.
